電子光電凈化工程對于無塵車間的要求

作者：超級管理員瀏覽量：748 來源：本站時間：2022-05-10 02:40:45

信息摘要：

電子光電凈化工程對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室，電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多，有集成電路生產(chǎn)（分為光掩膜、前道工序、后道工序），平南顯示器生產(chǎn)（分為LCD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料生產(chǎn)（單晶硅、多晶硅），光纖生產(chǎn)，制卡業(yè)，表面貼裝（SMT），分離器件生產(chǎn)（功率一、二、三級管，電容

電子光電凈化工程對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室，電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多，有集成電路生產(chǎn)（分為光掩膜、前道工序、后道工序），平南顯示器生產(chǎn)（分為LCD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料生產(chǎn)（單晶硅、多晶硅），光纖生產(chǎn)，制卡業(yè)，表面貼裝（SMT），分離器件生產(chǎn)（功率一、二、三級管，電容、電阻），整機(jī)組裝生產(chǎn)（機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)），自控元器件生產(chǎn)（傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)）等。

由于生產(chǎn)工藝種類繁多，對潔凈度等級要求也不同，高的很高，低的很低；對粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對溫濕度控制的要求相對較高，如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃（精度±0.1~±1℃），相對濕度基數(shù)為40%（精度±2~±5℃；正壓值要求的梯度級別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5~10Pa。

電子行業(yè)無塵車間的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的無塵車間大很多，單位冷負(fù)荷達(dá)400~500W/㎡很常見。由于冷負(fù)荷大，一般情況下，冬季也需要供冷，這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一，排放前要做處理，使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。

電子光電凈化工程生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：

1.電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值：

5.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室，電子工廠生產(chǎn)工藝分類眾多，有集成電路生產(chǎn)（分為光掩膜、前道工序、后道工序），平南顯示器生產(chǎn)（分為LCD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料生產(chǎn)（單晶硅、多晶硅），光纖生產(chǎn)，制卡業(yè)，表面貼裝（SMT），分離器件生產(chǎn)（功率一、二、三級管，電容、電阻），整機(jī)組裝生產(chǎn)（機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)），自控元器件生產(chǎn)（傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)）等。

新形勢下潔凈室技術(shù)的發(fā)展方向3.jpg

電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：