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半導(dǎo)體無塵車間:半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)環(huán)境的要求

作者:超級(jí)管理員 瀏覽量:663 來源:本站 時(shí)間:2022-04-09 09:41:43

信息摘要:

由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。半導(dǎo)體無塵車間 1、室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A) 2、垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔

    由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。半導(dǎo)體無塵車間

    1、室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)

    2、垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

    3、與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

    4、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:

    5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

    6、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

    7、凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量。半導(dǎo)體無塵車間


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