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半導(dǎo)體無(wú)塵車間技術(shù)方案

作者:超級(jí)管理員 瀏覽量:553 來(lái)源:本站 時(shí)間:2022-06-23 09:50:36

信息摘要:

以下半導(dǎo)體無(wú)塵車間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法:1.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開(kāi)多久。3.所有經(jīng)凈化設(shè)備

以下半導(dǎo)體無(wú)塵車間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法:


1.半導(dǎo)體無(wú)塵車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn),因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。


2.為保持恒溫與恒濕,大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久,空調(diào)就得開(kāi)多久。


3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主,因此,潔凈車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃細(xì)菌等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至最低程度。


4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。


5.所有人或事物進(jìn)出潔凈車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。


6.半導(dǎo)體無(wú)塵車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑,在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人!


7.半導(dǎo)體無(wú)塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的,都得使用氮?dú)?(98%),吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。


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